制造商:美國(guó)
主要功能:涂覆">
SpinCoater G4旋涂機(jī)
制造商:美國(guó)
主要功能:涂覆
G4系列高精度旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)應(yīng)用于在平面基板上高精度的液體材料涂敷,象光刻膠、聚酰亞胺、金屬有機(jī)化合物、攙雜劑、硅質(zhì)薄膜等。G4旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)系統(tǒng)在操作精度和編程靈活性方面采用了新的標(biāo)準(zhǔn),具有很高的旋轉(zhuǎn)精度和重復(fù)精度,擁有精度極高的加速/減速控制。
吸盤(pán)(卡盤(pán))旋轉(zhuǎn)速度:0-9,999轉(zhuǎn)/分鐘
加速度/減速度:0.1 – 25.5秒,0.1秒為增量
駐留時(shí)間:0-999秒,0.1秒為增量
點(diǎn)膠時(shí)間:1-25.5秒,0.1秒為增量
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